結(jié)構(gòu)特點: · 單級式減壓結(jié)構(gòu) · · 膜片與母體采用硬密封形式 · · 母體接口螺紋:1/4” NPT(F) · · 安全壓力:1.5倍的輸入壓力 · · 適用溫度:-40oF ~ 165oF(-40oC ~ 74oC) · · 泄露率:2 x 10-8 atm.cc/sec He · · CV:0.14 · · 重量:0.9 kg(2.0 lbs) · 材質(zhì) · 母體:銅電鍍,316L · · 閥座:PCTFE,PTFE,Vespel? · · 膜片:316L , Hastelloy? 哈氏合金 · 適用范圍 · 半導(dǎo)體制程 · · 實驗室 · · 氣相分析 · · 測試儀表 · · 石油化學(xué)工業(yè) · · 電廠設(shè)備 · |