結(jié)構(gòu)特點:
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單級式減壓結(jié)構(gòu)
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膜片與母體采用硬密封形式
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母體接口螺紋:1/4” NPT(F)
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安全壓力:1.5倍的輸入壓力
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適用溫度:-40oF ~ 165oF(-40oC ~ 74oC)
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泄露率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
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CV:0.14
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重量:0.9 kg(2.0 lbs)
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材質(zhì)
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母體:銅電鍍,316L
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閥座:PCTFE,PTFE,Vespel?
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膜片:316L , Hastelloy? 哈氏合金
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適用范圍
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半導體制程
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實驗室
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氣相分析
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測試儀表
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石油化學工業(yè)
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電廠設備
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